序號

   故障原因

   產生原因

  原因以及排除方法

 1

蝕刻深度不夠

蝕刻溫度太低

加溫（wēn）蝕刻（kè）液

蝕刻時間太短

適當延長蝕刻時間

蝕刻溶液（yè）老化，濃度低（dī）

增加新的蝕刻液

 2

防蝕層脫落

蝕（shí）刻（kè）液溫度太（tài）高

降低蝕刻液溫度

防蝕（shí）層製（zhì）作不良

加強蝕刻（kè）製作管理

油墨存放時間過長，失效

更換新（xīn）油墨

二次（cì）曝光時間太短

延長二次曝光時間

顯影後烘烤溫度太（tài）低或時間太短

提高烘烤溫度或延長時間

預處理不（bú）良

加強質量管理

 3

防蝕層邊緣（yuán）變脆起層

二次曝光時間太長

適當縮短（duǎn）二次（cì）曝光時間

 4

蝕刻（kè）表麵有（yǒu）印跡

酸洗溶液氟化物含量不夠

添加氟（fú）化物

酸洗時間太短

延長（zhǎng）酸洗時間

蝕刻（kè）溶液失調

分析蝕刻溶液（yè）

材料質量（liàng）原因

更換材料

 5

    平（píng）滑度差

雜質含量太高

更換溶液

三（sān）氯化鐵質量差

選擇質量好的三氯化鐵（tiě）

活化不（bú）良

加強活化過程

添加劑含量不（bú）足

定期補加添加劑

氯離子濃度太高（gāo）

添加（jiā）硝酸或硝酸氨

磷（lín）酸離子濃度低

添加磷酸

材料晶粒粗大

更換材料